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      产品展示

      高纯BOE溶液技术要求

      质量标准:

      项目

      指标

      UP-S级

      UP-SS级

      氟化铵(NH4F)含量/% ≤

      36.4±1.0

      40.0±1.0

      氢氟酸含量(HF)含量/% ≤

      4.8±0.5

      4.8±0.5

      色度/Hazen ≤

      5

      5

      氯化物(以Cl计) w/(mg/kg)    ≤

      3

      0.1

      硝酸盐(以NO3计) w/(mg/kg)    ≤

      3

      0.1

      磷酸盐(以PO4计)  w/(mg/kg)    ≤

      1

      0.1

      硫酸盐(以SO4计) w/(mg/kg)    ≤

      3

      0.2

      铝(Al)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      砷(As)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      硼(B)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      钡(Ba)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      钙(Ca)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      镉(Cd)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      铬(Cr)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      铜(Cu)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      铁(Fe)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      钾(K)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      锂(Li)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      镁(Mg)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      锰(Mn)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      钠(Na)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      镍(Ni)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      铅(Pb)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      锑(Sb)/(μg/kg)  ≤

      1

      0.1

      锡(Sn)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      钛(Ti)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      钒(V)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      锌(Zn)/(μg/kg) ≤

      1

      0.1

      颗粒

      (≥1.0μm)/(个/mL) ≤

      30

       

      (≥0.5μm)/(个/mL) ≤

      -

      30

      注:氟化铵与氢氟酸含量可按客户需求的比例进行配置

      【返回】

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